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9博体育精密零件投资者提问:公司互动平台表示研发的精密零部件静电卡盘已通过客户认证公司
更新时间 2023-09-21 12:55
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公司互动平台表示,研发的精密零部件静电卡盘已通过客户认证,公司全部产品零部件是否都是自产研发,可否提供客户名称?在先进的大规模集成电路制造中,晶圆片需要在多达几百种的工艺设备之间来回传输并进行加工检测。其中静电卡盘由于其对工件损伤小、精度高等特点,被广泛运用于半导体制造工艺等需要精密加工的场景精密零件。请问静电卡盘是否属于耗材,一般多久替换,若加工企业采用多次曝光和刻蚀技术,是否会增加损耗,导致需求增加?
您好,公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝9博体育、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件,具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能,应用于刻蚀机、涂胶显影机精密零件、光刻机、离子注入机等半导体关键设备中。 公司已开发了精密陶瓷零部件用氧化铝、氮化铝核心材料和配套的金属化体系,建立了完善的精密陶瓷零部件制造工艺平台,开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证,实现了关键零部件的国产化,已批量应用于国产半导体关键设备中。静电卡盘有多个应用场景,有些是耗材,有些不是耗材,出于商业保护和与客户协议的约定,公司不方便透露具体细节,敬请理解,谢谢您的关心。9博体育9博体育