采用光、电、化学等能源的特种加工精度可达到纳米级精密加工。通过机床结构设计优化、机床零部件的超精加工和精密装配，采用的全死循环控制温度、振动等动态误差补偿技术，从而进入亚微米、纳米级超精度加工时代。功能部件性能不断提高，

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