论精密与特种加工 特种加工是指利用机、光、电、声、热、化学、磁、原子能等能源来进行加 工的非传统加工方法它们与传统切削加工的不同特点主要有： ① 主要不是依靠机械能，而是主要用其他的能量（如电能、热能、光能、 声能以及化学能等）去除工件材料；② 刀具的硬度可以低于被加工工件材料 硬度，有些情况下，例如在激光加工、电子束加工、离子束加工等加工过程中， 根本不需要使用任何工具；③ 在加工过程中，工具和工件之间不存在显著的机 械切削力作用，工件不承受机械力，特别适合于精密加工低刚度零件 精密与特种加工从加工成形的原理和特点来分类，可以分为去除加工、结合 加工、变形加工三大类。 精密加工的难点： 超微量去除技术是实现超阶级精密加工的关键。这是因为在这种情况下：① 工 具和工件表面微观的弹性变形和塑性变形是随机的，精度难以控制；② 工艺系 统的刚度和热变形对加工精度有很大影响；③ 去除层越薄，被加工表面所受 切应力越大，材料就越不易被去除。④ 当去除厚度在 1 μm 以下时，材料被去 除的区域内产生的切应力急剧增大。因为当晶粒的尺寸为数微米时，加工就需在 晶粒内进行，即把晶粒当作一个个不连续体进行切削。在晶粒内部，大约 1 μm 左右的间隙内就有一个位错缺陷。 精密加工按加工方式不同可以分为切削加工、磨料加工（分固结磨料和游离 磨料加工）、特种加工和复合加工四类 三、精密加工的实现条件 精密加工是一门多学科交叉的综合性高新技术，已从单纯的技术方法发展成 精密加工系统工程。该系统主要包括以下几个方面： ① 精密加工的机理与工艺方法；② 精密加工工艺装备；③ 精密加工工具；④ 精密加工中的工件材料；⑤ 精密测量及误差补偿技术；⑥ 精密加工工作环境、 条件等。 在精密加工的中，必须综合考虑以上因素。 精密加工机床是精密加工最重要、最基本的加工设备。精密加工对精密加工 机床的基本要求如下： ⑴ 高精度。包括高的静精度和动精度。主要性能指标有 几何精度、定位精度和重复定位精度以及分辨率等。⑵高刚度包括静刚度和动刚 度。除本身刚度外，还要考虑接触刚度，及由工件、机床、刀具、夹具所组成 工艺系统工程刚度。⑶ 高稳定性。在规定的工作环境下和使用过程中能长时间 保持精度，具有良好的耐磨性、抗振性等。⑷ 高自动化。为了保证加工质量 一致性，减少人为因素的影响，采用数控系统实现自动化。 主轴部件是保证精密机床加工精度的核心。精密加工对主轴的要求是极高 回转精度，转动平稳，无振动半岛彩票。 主轴驱动方式也是影响精密机床主轴回转精度的主要因素之 —有⑴ 柔性联 轴器驱动⑵ 内装式同轴电动机驱动。 精密机床的总体布局 T 形布局 、 十字形布局 、R- θ 、布局立式结构布 局。为满足精密切削的要求，刀具赢具有如下性能：1 极高的硬度、极高的耐磨 性和极高的弹性模量，以保证刀具具有很高的尺寸耐用度。2 刃口能磨得及其锋 利，即刃口半径ρ值很小，以实现超薄切削。3 刀刃无缺陷，切削时刃形将复制 在被加工表面上，从而得到超光滑的镜面 4 与工件材料的抗粘性好、化学亲和性 小、摩擦因数低，以得到极好的加工表面完整性。 精密机床常采用平面导轨结构的液体静压导轨和空气静压导轨，滚动导轨也 有着广泛的应用。 解离现象是金刚石晶体的一个非常重要的特征，它是指晶体收到定向的机械 力的作用时，可以沿着平行于某个平面平整的劈开的现象。 三、金刚石刀具上的金刚石固定方法机械夹固 、用粉末冶金法固定、使用 粘结或钎焊固定。影响磨削性能的因素主要是砂轮的磨料、砂轮的粒度和砂轮 结合剂。 金刚石刀具主要是对铝、铜及其合金等材料进行精密车削，而对于黑色金属、 硬脆材料的精密与超精密加工，则主要是应用精密和超精密磨料加工。所谓精密 和超精密磨料加工，就是利用细粒度的磨粒和微粉对黑色金属、硬脆材料等进行 加工，以得到高加工精度和低表面粗糙度值。 超硬磨料砂轮磨削主要是指用金刚石砂轮和立方氮化硼砂轮加工硬质合金、 陶瓷、玻璃、半导体材料及石材等高硬度、高脆性材料。 每次电火花腐蚀的围观过程是电力、热力、磁力、流体动力等综合作用的过 程。大致可分为四个阶段：极间介质的击穿形成放电通道；介质热分解、电极材 料融化、气体热膨度以及分辨率等。 ⑵ 高刚度。胀；蚀除产物的抛出；间隙介 质消电离。 电火花加工工艺按工具电极的性质、工具电极和工件相对运动的方式不同和 用途不同，大致可分为电火花穿孔、电火花线切割加工、电火花磨削和镗磨、电 火花展成加工（同步共轭回转加工）、电火花表面强化与刻字。 极性效应：这种单纯的由于正、负极性不用而彼此电蚀量不一样的现象叫做 极性效应。 电极表面吸附、覆盖、镀覆作用也是产生极性现象的原因。从提高加工生产 率和减少工具电极消耗的角度来看，极性效应应愈显著愈好，故在电火花加工过 程中必须充分利用。当用交变的脉冲电流加工时，单个脉冲的极性效应便相互抵 消，增加了工具的损耗。因此，电火花加工一般都采用单项脉冲电源。 要降低工具电极的相对损耗，首先要根据电极对的材料特征性确定最佳脉宽， 其次有效利用电火花加工过程中的各种效应，如吸附效应、电极效应、传热效应 等。 影响加工精度的主要因素有放电间隙的大小及其一致性、工具电极的损耗及 其稳定性和 “二次放电”，电火花加工放电间隙对加工精度的影响表现在放电间 隙的不稳定性和间隙电场分布不均匀性，工具电极的损耗对尺寸精度和形状精度 都有影响。间隙内电场分布不均匀性和工具电极的损耗使电火花加工时工具的尖 角或凹角很难精确地复制在工件上。 “二次放电”是指已加工表面上由于电蚀产物等的介入而再次进行的非正 常放电，集中反映在加工深度的方向产生斜度和加工棱角棱边变钝方面。 电火花加工过程中，在火花放电的瞬间高温和工作液的快速冷却作用下，材 料表面的化学成分、微观结构发生很大的变化，形成一层通常存在残余应力和微 观裂纹的变质层。对于融化、气化材料，可将变质层分为融化凝固层和热影响层。 电火花穿孔成形加工机床主要由主机（包括自动调节系统的执行机构）、脉 冲电源、自动进行调节系统、工作液净化以及循环系统几部分组成。 不同的线路结构，但共同的工作原理都是利用电容器充电储存电能，而后瞬 时释放，形成火花放电来蚀除金属。因为电容器时而充电，时而放电，一张一弛， 故又称“驰张式”脉冲电源。 等脉冲电源是指每个脉冲在介质击穿后所释放的单个脉冲能量相等，对于矩 形波脉冲电流来说，由于每次放电过程的电流幅值基本相同，因而等脉冲电源 每个脉冲放电电流持续时间也完全相同。 电火花加工进给调节装置就是一个完善的自动进给调节装置，由测量环节、 放大环节、执行环节等主要几个环节组成。 喷嘴——挡板式自动进给系统的工作原理：测量环节从放电间隙检测出电压 信号，与给定值进行比较后输出一个控制信号，再经放大，传输给电——机械转 换器。它使液压放大器中的喷嘴挡板有一个成比例的位移，因而改变喷嘴的出油 量，造成液压缸上下油腔压力差变化，从而使主轴相对运动，调节放电间隙大小。 保证达到配合间隙的方法有很多种，如直接配合法、修配冲头法、修配电机 法等。常用直接配合法。直接配合法是直接用加长的钢凸模作为电极加工凹模， 加工时将凹模刃口端朝下形成向上 “喇叭口”，加工后将工件反过来使 “喇叭 口”向下作为凹模。电极也倒过来把损耗不分切除或用低熔点合金浇固作为凸模。 这种方法可以获得均匀的配合间隙，具有模具质量高、电极制造方便以及钳工工 作量少的优点。 形腔模电火花加工主要由单电极平动法、多电极更换法、分解电极加工法和 指装电极的扫描加工四种方法。 常用的电极材料有铜钨合金、银钨合金、纯铜以及石墨等。铜钨合金和银钨 合金的成本高，制造比较难，故只用于要求较高的形腔加工，较为功法使用的是 纯铜和石墨。 粗加工要求高生产效率和低电极损耗，这时应优先考虑采用较宽的脉冲宽度 （400 μŠ），然后选择合适的脉冲值电流，并应注意加工面积和加工电流之间 配合关系。 制造异形小孔电极的主要方法有：1 冷拔整体电极法，这种方法效率高，用 于较大批量生产 2 点活法切割加工整体电极法 这种方法的制造周期短，精度和 刚度较好，可以修磨抛光，保证形孔加工质量 3 电火花反拷加工整体电极法，这 种方法制造的电极定位方法装夹方便。 电火花线切割加工与电火花成形加工电极基本原理一样，都是基于电极间脉冲放 电视的电火花腐蚀原理，实现零部件的加工，所不同的是，电火花线切割加工不 需要制造复杂的成形电极，而是利用移动的细金属丝作为工具电极，工件按照预 定的轨迹运动，“切割”出所需要的各种尺寸和形状。 与电火花成形加工相比，电火花线切割加工有如下主要特点：1 不需要制造 复杂的成形电极。2 能够方便快捷地加工薄壁、窄槽、异形孔等复杂结构零件。 3 一般采用精规准一次加工成形，在加工过程中不需要转换加工规准。4 由于采 用移动的长电极丝进行加工，使单位长度电极丝的损耗较少，从而对加工精度影 响比较小，特别是在低速走丝线切割加工时，电极丝一次性是呀，电极丝的损耗 对加工精度的影响更小。5 工作液多采用水基乳化液，很少使用煤油，不易引燃 起火，容易丝线 没有稳定的拉弧放电状态。7 脉冲电源 加工电流较小，脉冲宽度较窄，属于中、精加工范畴，采用正极性加工方式。 机械部分由床身、坐标工作台、运丝机构、丝架、工作液循环等几个部分组成。 计算长度 J 的确定，当计数方向J 应取计数方向从起点到终点滑板的总距离， 即圆弧或直线段在计数方向坐标轴上投影的总和。 随着新型武器装备的发展，国内外对特种加工技术的需求日益迫切。不论飞 机、导弹，还是其它作战平台都要求降低结构重量，提高飞行速度，增大航程， 降低燃油消耗，达到战技性能高、结构寿命长、经济可承受性好。为此，上述武 器系统和作战平台都要求采用整体结构、轻量化结构、先进冷却结构等新型结构， 以及钛合金、复合材料、粉末材料、金属间化合物等新材料。 为此，需要采用特种加工技术，以解决武器装备制造中用常规加工方法无法 实现的加工难题，所以特种加工技术的主要应用领域是： 难加工材料，如钛合 金、耐热不锈钢、高强钢、复合材料、工程陶瓷、金刚石、红宝石、硬化玻璃等 高硬度、高韧性、高强度、高熔点材料。 难加工零件，如复杂零件三维型腔、型孔、群孔和窄缝等的加工。 低刚度零件，如薄壁零件、弹性元件等零件的加工。 以高能量密度束流实现焊接、切割、制孔、喷涂、表面改性、刻蚀和精细加 工。 激光加工技术 1.1 现状 国外激光加工设备和工艺发展迅速，现已拥有 100kW 的大功率CO2 激光器、 kW 级高光束质量 Nd:YAG 固体激光器，有的可配上光导纤维进行多工位、远距 离工作。激光加工设备功率大、自动化程度高，已普遍采用 CNC 控制、多坐标联 动，并装有激光功率监控、自动聚焦、工业电视显示等辅助系统。 激光制孔的最小孔径已达 0.002mm，已成功地应用自动化六坐标激光制孔专用设 备加工航空发动机涡轮叶片、燃烧室气膜孔，达到无再铸层、无微裂纹的效果。 激光切割适用于由耐热合金、钛合金、复合材料制成的零件。目前薄材切割 速度可达 15m/min，切缝窄，一般在 0.1～1mm 之间，热影响区只有切缝宽 10%～20%，最大切割厚度可达 45mm，已广泛应用于飞机三维蒙皮、框架、舰船 船身板架、直升机旋翼、发动机燃烧室等。 激光焊接薄板已相当普遍，大部分用于汽车工业、宇航和仪表工业。激光精 微焊接技术已成为航空电子设备、高精密机械设备中微型件封装结点的微型连接 的重要手段。 激光表面强化、表面重熔、合金化、非晶化处理技术应用越来越广，激光微 细加工在电子、生物、医疗工程方面的应用已成为无可替代的特种加工技术。 激光快速成型技术已从研究开发阶段发展到实际应用阶段，已显示出广阔 应用前景。 国内 70 年代初已开始进行激光加工的应用研究，但发展速度缓慢。在激光 制孔、激光热处理、焊接等方面虽有一定的应用，但质量不稳定。目前已研制出 具有光纤传输的固体激光加工系统，并实现光纤耦合三光束的同步焊接和石英表 芯的激光焊接。完成了激光烧结快速成型原理样机研制，并采用环氧聚脂和树脂 砂烧结粉末材料，快速成型出典型零件，如叶轮、齿轮。 1.2 发展趋势 激光加工技术今后几年应结合已取得的预研成果，针对需求，重点开展无缺 陷气膜小孔的激光加工及实时检控技术、高强铝(含铝锂、铝镁)合金的激光焊接 技术、金属零件的激光粉末烧结快速成型技术、激光精密加工及重要构件的激光 冲击强化等项目的研究。实现高温涡轮发动机气膜孔无缺陷加工，可使叶片使用 寿命达 2000 小时以上；以焊代替数控加工飞机次承力构件，以及带筋壁板的以 焊代铆；实现重要零部件的表面强化，提高安全性、可靠性等，从而使先进的激 光制造技术在军事工业中发挥更大的作用。 1）无再铸层、无微裂纹涡轮叶片气膜孔激光高效加工技术研究； 2）铝合金、超强钢、钛合金、异种材料构件以及大型空间曲面零件的激光 焊接工艺研究； 3）三维激光切割工艺规范及表面质量控制技术和在线）提高高温合金、铝合金等重要部件抗疲劳性能的激光冲击技术研究； 5）激光快速成型技术研究； 6）大功率激光熔覆陶瓷涂层的工艺以及涂层组织结构和性能的研究。 2 电子束加工技术 2.1 现状 电子束加工技术在国际上日趋成熟，应用范围广。 国外定型生产 40kV～300kV 的电子枪(以60kV、150kV 为主)，已普遍采用 CNC 控制，多坐标联动，自动化程度高。电子束焊接已成功地应用在特种材料、 异种材料、空间复杂曲线、变截面焊接等方面。目前正在研究焊缝自动跟踪、填 丝焊接、非真空焊接等，最大焊接熔深可达 300mm，焊缝深宽比 20：1。电子束 焊已用于运载火箭、航天飞机等主承力构件大型结构的组合焊接，以及飞机梁、 框、起落架部件、发动机整体转子、机匣、功率轴等重要结构件和核动力装置压 力容器的制造。如：F-22 战斗机采用先进的电子束焊接，减轻了飞机重量，提 高了整机的性能； “苏-27”及其它系列飞机中的大量承力构件，如起落架、承 力隔框等，均采用了高压电子束焊接技术。 国内多种型号的飞机及发动机和多种型号的导弹壳体、油箱、尾喷管等结构 件均已采用了电子束焊接。因此，电子束焊接技术的应用越来越广泛，对电子束 焊接设备的需求量也越来越大。 国外的电子束焊机，以德国、美国、法国、乌克兰等为代表，已达到了工程 化生产。其特点是采用变频电源，设备的体积、噪声、高压性能等方面都有很大 提高；在控制系统方面，运用了先进的计算机技术，采用了先进 CNC 及 PLC 技 术，使设备的控制更可靠，操作更简便、直观。 国外真空电子束物理气相沉积技术，已用于航空发动机涡轮叶片高温防腐隔 热陶瓷涂层，提高了涂层的抗热冲击性能及寿命。电子束刻蚀、电子束辐照固化 树脂基复合材料技术正处于研究阶段。 2.2 发展趋势 电子束加工技术今后应积极拓展专业领域，紧密跟踪国际先进技术的发展， 针对需求，重点开展电子束物理气相沉积关键技术研究、主承力结构件电子束焊 接研究、电子束辐照固化技术研究、电子束焊机关键技术研究等。 1）150kV、15kW 高压电子枪及高压电源的技术研究； 2）电子束物理气相沉积技术的研究； 3）大厚度变截面钛合金的电子束焊接技术研究及质量评定； 4）典型复合材料飞机构件的电子束固化工艺研究及其工程化研究； 5）多功能电子束加工技术研究。 3 离子束及等离子体加工技术 3.1 现状 表面功能涂层具有高硬度、耐磨、抗蚀功能，可显著提高零件的寿命，在工 业上具有广泛用途。 美国及欧洲国家目前多数用微波 ECR 等离子体源来制备各种功能涂层。等离 子体热喷涂技术已经进入工程化应用，已广泛应用在航空、航天、船舶等领域 产品关键零部件耐磨涂层、封严涂层、热障涂层和高温防护层等方面。 等离子焊接已成功应用于 18mm 铝合金的储箱焊接。配有机器人和焊缝跟踪 系统的等离子体焊在空间复杂焊缝的焊接也已实用化。微束等离子体焊在精密零 部件的焊接中应用广泛。我国等离子体喷涂已应用于武器装备的研制，主要用于 耐磨涂层、封严涂层、热障涂层和高温防护涂层等。 真空等离子体喷涂技术和全方位离子注入技术已开始研究，与国外尚有较大 差距。等离子体焊接在生产中虽有应用，但焊接质量不稳定。 3.2 发展趋势 离子束及等离子体加工技术今后应结合已取得的成果，针对需求，重点开展 热障涂层及离子注入表面改性的新技术研究，同时，在已取得初步成果的基础上， 进一步开展等离子体焊接技术研究。 1）复杂零件 “保形”离子注入与混合沉积技术研究，获得高密度等离子体 方法研究； 2）空间结构焊接工艺参数自适应控制及焊缝自动跟踪系统研究，以及等离 子弧焊过程中变形控制技术研究； 3）等离子喷涂陶瓷热障涂层结构、工艺及工程化研究； 4）层流湍流自动转换技术及轴向送粉、三维喷涂技术研究； 5）层流等离子体喷涂系统的研制及其喷涂技术的研究。 4 电加工技术 4.1 发展现状 国外电解加工应用较广，除叶片和整体叶轮外已扩大到机匣模具加工、盘环零件和深 小孔加工，用电解加工可加工出高精度金属反射镜面。目前电解加工机床最大容 量已达到 5 万安培，并已实现 CNC 控制和多参数自适应控制。电火花加工气膜孔 采用多通道、纳秒级超高频脉冲电源和多电极同时加工的专用设备，加工效率 2～ 3 秒/孔，表面粗糙度 Ra0.4μm，通用高档电火花成型及线切割已能提供微米级 加工精度，可加工3μm的微细轴和5μm的孔。精密脉冲电解技术已达10μm左 右。电解与电火花复合加工，电解磨削、电火花磨削已用于生产。 4.2 发展趋势 根据上述现状，今后特种加工技术的发展方向应是： (1)不断改进、提高高能束源品质，并向大功率、高可靠性方向发展。 (2)高能束流加工设备向多功能、精密化和智能化方向发展，力求达到标准 化、系列化和模块化的目的。扩大应用范围，向复合加工方向发展。 (3)不断推进高能束流加工新技术、新工艺、新设备的工程化和产业化工作。 研究上述技术的关键在于：提高高能束流的品质；开展特种加工过程的自动 控制及计算机建模、仿真技术的研究；新材料加工特性研究；特种加工设备的研 究等。 机密与特种加工 机自 086 王靖超 0815014174

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