主要包括精密车削、镜面磨削和磨削。微车削是在精密车床上用细磨的单晶金刚石车刀进行的。切割厚度只有约1微米。它通常用于加工高精度和光滑的表面零件，如有色金属材料的球面镜、非球面镜和平面镜。

　　当精密零件的加工精度为纳米甚至原子单位（原子点阵距离为0.1-0.2纳米）时，超精密零件的加工方法就不能适应精密加工。必须采用特殊精密零件的加工方法，半岛彩票即化学能、电化学能、半岛彩票热能或电能，使这些能量超过原子间的结合能，以消除某些原子在工件表面的附着、结合或晶格变形半岛彩票，从而达到超精密加工的目的半岛彩票。这种工艺包括机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝光、激光束加工、金属蒸发和分子束外延。半岛彩票