加工光刻镜头的设备是光学机床，比如金刚石单点车这类的，哈勃的镜头也是这么造的，类似的光学机床还有超声波辅助切削加工、在线电解修整砂轮(ELID)精密镜面磨削精密加工、磁流变磨床等设备。这些设备的共同特点就是精度极高，属于超精密加工设备，加工精度从次微米到纳米级（10^-7~10-9m），部分设备的加工精度、表面粗糙度已经在数纳米，正在向埃迈进。

　　这些超精密加工设备是如何实现这种精度的呢，实际上包括了测量技术、控制技术、高刚度材料、精密制造等多个方面的综合。这些设备实际上和常见的通用机床，比如常用的金属切削数控机床（加工中心）区分开来，追求的就是精度（在加工尺寸、加工速度、加工材料的灵活性上要作妥协）。

　　测量技术的升级是一种原理上的放大，已经有人讲过了，这是基础——没有测量精度，自然不会有加工精度，但是机床精度的升级并不完全依靠于机床自身零件精度的升级，到一定层次以后是设计原理上的半岛彩票，因为高精密的设备需要更高层次的设计使其精度的能进一步提升。比如说机床的轴承，到了最高精度的机床上除了轴承零件的精度要求外，必须采用气浮轴承、静压轴承，否则是无法实现要求的运动中的精度的。其他在超精密设备上常见的措施包括：采用超高刚性主轴、极高硬度的切削材料（金刚石、碳纳米管）、自适应刀具、完全恒温的环境和极低振动厂房、机床结构更好的频率响应（甚至为控制热胀冷缩采用花岗岩石材结构）、（独立机床结构的）超精密测量、更精密的控制给进策略（切削力非常小，数牛顿），普遍的误差补偿控制策略等等。

　　工业的基础在于用机器制造机器，机床作为工业母机，在精度、加工速度等方面实际上也是指数级增长的。虽然没有摩尔定律那么夸张半岛彩票，但是也是很明显的，以通用机床为例大概精度8到10年精度提高一倍，10～15年切削速度提高一倍，现在的部分精密加工中心已经赶得上以前的坐标镗床了。半岛彩票半岛彩票半岛彩票半岛彩票