所谓超精密加工，就是利用细粒度的磨粒和微粉对黑色金属、硬脆材料等进行加工，以得到高加工精度和低表面粗糙度值。超精密磨削是以超硬磨料砂轮为主要加工工具，在超精密机床上实施超微量切除加工（单刀进给深度一般为0.01um-1um）。超精密磨削是一个系统工程，其组成部分包括被加工材料、超精密机床、超硬磨料砂轮、超精密加工工艺、高精度检测技术以及超高要求的加工环境，只有这些组成部分都达到要求才能加工出超精密工件。

　　1. 加工材料：超精密磨削材料一般为难加工模具加工、高硬度、高脆性材料，如陶瓷、玻璃、半导体硅片、宝石半岛彩票、硬质合金等。超精密磨削这些材料时，材料以脆性断裂去除为主要去除方式，粉末化及塑性去除为次要方式，生产的切屑随砂轮高速转动及喷射水流排出，而加工有色金属及硬度较软材料，磨削切屑极易黏附在砂轮磨粒表面，影响砂轮磨削性能。

　　2. 超精密机床：超精密磨削要求机床具有高刚度，导轨刚度要求一般在500N/um以上；高运动分辨率，即机床进给的最小分辨率，一般在0.1um以上；高运动精度，包括导轨的定位精度、主轴回转精度等，一般要求在0.1um以上；高稳定性，机床需要对外界的干扰具有较高的抵抗性能以及整个加工系统的稳定加工能力。

　　3. 超硬磨料砂轮：超硬磨料砂轮以人造金刚石、CBN、刚玉为常用磨料。砂轮选用指标包括磨料种类、砂轮硬度、磨料粒度、孔隙率、磨料浓度、结合剂类型等。对不同的磨削材料，应当选用对应合适的磨料，SiC、K9玻璃、氧化铝陶瓷可选金刚石砂轮，不锈钢可选刚玉砂轮。磨削硬度较高材料应选用硬度较软的砂轮，加工过程中砂轮磨料容易脱落，始终保持其锋利度，而磨削较软材料可选用较硬砂轮以保证加工精度。粗磨可选粒度范围40#~300#，精磨可选粒度180#~1200#。

　　4. 超精密加工工艺：加工工艺是影响加工精度的一个重要因素。磨削工艺包括如砂轮种类选择、磨削方式选择、磨削加工流程安排、加工过程参数确定、工件工装及测量方案、加工误差补偿技术等方面。

　　5. 超高精度检测技术：检测一方面是应用在机床导轨及主轴位置的绝对测量，保证机床具有极高的精度。另一方面应用于工件精度的检测半岛彩票，超精密磨削工件精度可达0.1um以内，表面粗糙度可达0.02um以内，对应的检测技术也要满足一定精度要求，接触式测量如探针扫描测量，非接触式如机床干涉仪，白光干涉仪，原子力显微镜等。还有一方面是在磨削力、磨削功率、磨削温度等加工过程量的高精密监测，以便及时对加工状况做出评估，调整加工工艺参数。

　　6. 加工环境要求：环境要求包括环境的洁净程度、振动噪声干扰以及环境温度的稳定程度。超精密机床必须置于洁净的超净室才能充分发挥优势。对不同的超精密机床，厂家一般都会给出环境要求，百级洁净室要求每立方米空间内0.5um以上直径的悬浮颗粒数不超过3520个，而千级洁净室标准为35200个。环境振动的干扰不仅会引起机床本体振动，也会影响砂轮位置精度，国内外超精密加工常用隔振沟、隔振垫等技术以防振动干扰。温度对加工影响程度极大，超精密加工都要求环境温度控制在一定范围内，且对温度变化梯度有一定要求。

　　超精密磨削技术主要应用于各种精密零部件，如光学非球面、半导体硅片、超硬高精度模具、导弹整流罩、半球谐振陀螺等。

　　苏州超徕精工科技有限公司成立于2017年10月，座落于苏州市吴中区科技创业园。公司专注超精密光学加工检测与传感技术，产品覆盖超精密硬脆材料加工、精密检测与精密激光位移传感器。如今，超徕精工向着成为一家集光学加工检测于一体的先进光学制造企业而不断前进。为客户提供一流的超精密光学产品，是我们一以贯之的愿景。半岛彩票半岛彩票半岛彩票半岛彩票