超精密加工是指被加工零件的尺寸精度高于0.1μm，表面粗糙度小于Ra＜0.025μm，以及所用机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01μm的加工技术，也称半岛彩票之为亚微米级加工技术，且正在向纳米级加工技术发展。

　　随着科学技术的迅速发展和人民生活以及国防建设的需要，各国都大力发展制造业，尤其是在精密与超精密加工领域竞争更为激烈，因为它在尖端产品和现代化武器的制造中占有非常重要的位置，导弹的命中精度，主要取决于惯性仪表的精度。制造仪表需采用超精密加工技术和相应的设备。

　　超精密加工技术发展趋势是：向更高精度、更高效率方向发展；向大型化、微型化方向发展；向加工检测一体化方向发展；机床向多功能模块化方向发展；不断探讨适合于超精密加工的新原理、新方法、新材料。21世纪初十年将是超精密加工技术达到和完成纳米加工技术的关键十年

　　人造金刚石是采用超高压（500MPa 以上）高温（1300℃ ）下由子晶生长而成。在条件允许的情况下，可以生成大颗粒单晶金刚石，该金刚石具有较高的硬度、良好的导热性、和有色金属摩擦系数小等优点。

　　精密磨削机理：主要是依靠精细修整砂轮，使磨粒具有微刃性和等高性，磨削后，被加工表面留下大量极微细的磨削痕迹，残留高度极小，加上无半岛彩票火化磨削阶段的作用，可获得高精度和地表面粗糙度表面。精密磨削加工主要体现为，微刃的微切削作用，通过微细修整砂轮，是微细磨粒破碎并产生微刃，从而形成低的表面粗糙度。微刃的等高切削作用，砂轮经微细修整后，分布在半岛彩票砂轮表层的统一深度的微刃数量、等高性好，从而使加工表面的粗糙度极小。微刃的滑挤、摩擦、抛光作用，刚开始切削时，微刃较锋锐，切削作用强，随着切削过程的继续，磨粒逐渐出现钝化，但同时，等高性得到改善，此时，切削作用减弱，滑挤、摩擦、抛光作用加强，从而使加工表面凸峰辗平，降低表面面粗糙度。

　　精密主轴部件是超精密机床的圆度基准，也是保证机床加工精度的核心。主轴要求达到极高的回转精度，其关键在于所用的精密轴承。早期的精密主轴采用超精密级的滚动轴承，如瑞士Shaublin精密车床，采用滚动轴承半岛彩票，其加工精度可达ban，表面粗糙度R,0．04-0．02pan。制造如此高精度的滚动轴承主轴是极为不易的，希望更进一步提高主轴精度更是困难。目前，超精密机床的主轴广泛采用液体静压轴承和空气静压轴承。

　　床身是机床的基础部件，应具有抗振衰减能力强、热膨胀系数低、尺寸稳定性好的要求。目前，超精密机床床身多采用人造花岗岩材料制造。人造花岗岩是由花岗岩碎粒用树脂粘结而成，它不仅具有花岗岩材料的尺寸稳定性好模具加工、热膨胀系数低、硬度高、耐磨且不生锈的特点，又可铸造成形，克服半岛彩票了天然花岗岩有吸湿性的不足，并加强了对振动的衰减能力。超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行，导轨偶合面不能有磨损，因而液体静压导轨、气浮导轨和空气静压导轨，均具有运动平稳、无爬行、摩擦因数接近于零的特点，在超精密机床中得到广泛的使用。

　　在超精密加工中，要求微量进给装置满足如下的要求：①精微进给与粗进给分开，以提高微位移的精度半岛彩票、分辨率和稳定性；②运动部分必须是低摩擦和高稳定性，以便实现很高的重复精度；③末级传动元件必须有很高的刚度，即夹固刀具处必须是高刚度的；④工艺性好，容易制造；⑤应能实现微进给的自动控制，动态性能好。